1）分辨率（分辨能力）
    多采用波數(shù)差（△υ）的大小來表示儀器的分辨率。國產(chǎn)光柵紅外光譜儀的分辨率一般為1～1.5cm-1/1000cm-1。FT-IR儀器的分辨率可達(dá)0.5～0.2cm-1。
 1.用聚苯乙烯薄膜為試樣，儀器應(yīng)在3100～2800cm－1區(qū)間分出七個(gè)碳?xì)滏I伸縮振動(dòng)峰（其中五個(gè)不飽和碳?xì)渖炜s峰，兩個(gè)飽和碳?xì)渖炜s峰）。依次為:3104 cm-1、3083cm-1、3061 cm-1、 3027cm-1 、3001cm-1 ，2924cm-1 、2851cm-1。
2.也可用聚苯乙烯薄膜的IR光譜圖中，2851cm-1與2924cm-1兩相鄰吸收峰間的分離深度來衡量儀器的分辨率。一般應(yīng)大于15％。
2）波數(shù)準(zhǔn)確度及重復(fù)性
波數(shù)重復(fù)性是多次重復(fù)測(cè)量同一樣品，所得zui大峰位值與zui小峰位值之差。常用0.1mm聚苯乙烯薄膜及茚的紅外光譜上的峰位值，來核對(duì)波數(shù)（或波長）的準(zhǔn)確度。